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チョウ エルエスアイ ザイリョウ プロセス ノ キソ
超LSI材料・プロセスの基礎 / 岸野正剛 著

データ種別 図書
出版年 1987.12
出版者 東京 : オーム社
大きさ 226p ; 22cm

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横 B2和書
549.7:K61 1001156197
4274031853

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一般注記 監修:伊藤良一
参考文献・引用文献:p213〜218
著者標目 岸野正剛 <キシノ,セイゴウ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC:549.7
NDC8:549.7
書誌ID TN30678027
目次/あらすじ

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